•適用材料: 8インチウェハーリング、8インチウェハーリングカセット
•装置性能:処理能力: 最大240個（インデックスタイム: 15秒/硬化時間: 条件による）
•装置寸法:長さ: 1300mm、幅: 1300mm、高さ: 2100mm
•電力仕様:AC 220V、単相、30A、50/60Hz
•空気源:5 kg/cm²
•制御システム:PC + PLC
•光源:LED UVランプ
•波長範囲:365~385nm（ピーク波長: 375nm）
•LED消費電力:880W/ヘッド
•LED UV強度:0～100% 調整可能
•冷却方式:空冷
•光源の寿命:約10,000～15,000時間，照射範囲はカスタマイズ可能

A487 UV-LED UV Irradiation